MEMBRANPUMPEN
SEMI SERIES
Halbleiter , Pharma, Reinraum
HAUPTEMERKMALE
Die Pumpen der SEMI-Serie wurden speziell für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt. Der gesamte Montageprozess dieser einzigartigen Produkte wird in der Klasse ISO 5 (gemäß der Norm ISO 14644-1) abgeschlossen und umfasst eine doppelte Reinigung der Teile, deren Prüfung mit entionisiertem Wasser und schließlich die Versiegelung in Kunststofffolien.
Alle mit Flüssigkeiten in Berührung kommenden Teile der SEMI T- und SEMI H-Pumpen bestehen aus PTFE (Polytetrafluorethylen).
Die mit Flüssigkeiten in Berührung kommenden Gehäuseteile der SEMI E-Pumpe bestehen aus UPPE (ultrareines Polyethylen).
Die mit Flüssigkeit in Berührung kommenden Gehäuseteile der SEMI S-Pumpe bestehen aus Edelstahl AISI 316L.
360-Ansicht
MERKMALE
- keine Metallteile (auch nicht im atomaren Maßstab)
- keine Elastomer-O-Ring-Dichtungen
- Keine Schmierung im Luftventil
- Reinraumbaugruppe der Klasse 100, getestet mit entionisiertem Wasser und doppelt versiegelter Verpackung
- TFM-Membranen, robust und zuverlässig
- 4 Materialien für unterschiedliche Anwendungen mit max. Temperatur 200°C
- bearbeitetes Vollmaterial in einem modernen CNC-Bearbeitungs- und Drehzentrum
- Pulsationsdämpfer, Leckerkennung, elektronische/pneumatische Steuerung und Überwachung für alle Größen verfügbar
- Einfache „vorbeugende Wartungsplanung“ (PMP) mit nur 40 % Ersatzteilen im Vergleich zur Konkurrenz
- Kapazitäten von 10–100 l/min
- 4 Größen aus PTFE/UPPE (ultrareines Polyethylen) für Säuren und Laugen, ohne Metallteile bis in den atomaren Bereich und Temperaturbereich bis +130 Grad Celsius (SEMI T-Serie)
- 2 Größen aus PTFE für Anwendungen mit Säuren und Laugen bis +200 Grad Celsius (SEMI H-Serie)
- 4 UPPE-Größen für Schlämme (Serie SEMI E)
- 2 Größen Mittelgehäuse aus Edelstahl für Lösungsmittel (SEMI S-Serie)
Installation der Pumpe
Pumpe selbstansaugend
Die druckluftbetriebenen Doppelmembranpumpen von Dellmeco sind trocken selbstansaugend. Bei gefüllter Saugleitung kann eine Saughöhe von bis zu 8,0 m WS erreicht .werden. Die Saughöhe variiert je nach Membranwerkstoff und Fördermedium.
Pumpe getaucht
Die druckluftbetriebenen Doppelmembranpumpen von Dellmeco können im Fördermediumgetaucht betrieben werden. Vor dem Eintauchen der Pumpe sind die Pumpenwerkstoffe zu überprüfen. Die Abluft des Luftmotors muss über eine separate Abluftleitung oberhalb des Flüssigkeitsspiegels in die
Pumpe mit Vordruck
Die druckluftbetriebenen Doppelmembranpumpen von Dellmeco können mit einem saugseitigen Vordruck von max. 0,6 bar betrieben werden. Um einen ungewollten Volumenstrom zu verhindern, ist in der
ZUSAMMENFASSUNG DER SEMI SERIE PUMPEN
Modell: SEMI T
Materialien: Mittelgehäuse TFM/PTFE; Seitengehäuse UPPE
Pumpengrößen: 10, 20, 50
Produkte: Säuren und Laugen
Materialien: Mittelgehäuse UPPE; Seitengehäuse UPPE
Pumpengrößen: 10, 20, 50
Produkte: Schlämme
Materialien: Mittelgehäuse UPPE; Seitengehäuse PTFE
Pumpengrößen: 10, 20
Produkte: Heißanwendungen mit Säuren und Laugen
Materialien: Mittelgehäuse SS 316L; Seitengehäuse PTFE-Leiter
Pumpengrößen: 20, 50
Produkte: Lösungsmittel
SEMI SERIE TECHNISCHE DATEN
SEMI-ZUSATZAUSRÜSTUNG
Pneumatisches Hubzählsystem (Code SC5, SC6)
Nach Eingabe der Codes SC5 und SC6 werden die Hübe der Pumpe automatisch gezählt. Die Druckänderung in der Luftkammer hinter einer der Membranen wird vom Druckschalter registriert. Für eine einwandfreie Funktion muss das Zählsystem mit einem Druck von mindestens 1,5 bar gespeist werden.
Die zwei Arten des Zählsystems sind:
– SC5 – Druckschalter 1 – 10 bar, kpl. montiert mit Steckdose mit
Kabel 5 m; Adapter gerade NPT ¼“; Schlauch DN 4/6, 2,5 m
– SC6 – wie SC5 und ein Schlagzähler.
Membransensor (Code DM1, DM3, DM4)
The role of the diaphragm sensor is to detect a diaphragm fracture. It is installed in the muffler and is designed to be able to operate for any liquid. There are three types of diaphragm sensors:
DM1: 2-Leiter-Namur, eigensicher EEx ia IIC T6
DM3: 3-Draht
DM4: 3-Leiter mit Stecker (nur für Pumpengrößen 10, 20, 50)
Flaretek© – Anschlüsse für PFA-Rohre (Code CF)
Flaretek©-Anschlüsse können mit den SEMI T- und SEMI H-Pumpen in ihren Saug- und Druckanschlüssen verwendet werden.